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☉采用了劃時代性模組結(jié)構(gòu)的超薄型平臺:在底座、工作臺之間裝上組合了滑臺組和特殊交叉滾柱軸承,實(shí)現(xiàn)了超薄型結(jié)構(gòu)。
☉高剛性、高精度:高品質(zhì)精磨級滾珠絲杠驅(qū)動,小導(dǎo)程,相同細(xì)分可達(dá)到高的分辨率級高的重復(fù)定位精度。
☉超薄型、輕量化、中空結(jié)構(gòu):中空結(jié)構(gòu)設(shè)計,可作為光學(xué)式檢查裝置或?qū)y試器使用
☉潤滑系統(tǒng):在各種運(yùn)動軌道加入潤滑系統(tǒng),提高對位平臺使用的壽命及精度。
☉ 產(chǎn)品整體機(jī)構(gòu)薄且輕,內(nèi)部結(jié)構(gòu)緊湊,可實(shí)現(xiàn)同時進(jìn)行X軸的平移、Y軸的平移、Z軸的旋轉(zhuǎn)。可實(shí)現(xiàn)任意位置再運(yùn)動。
☉材料皆經(jīng)超深冷處理,有效預(yù)防變型,大幅提升使用壽命
產(chǎn)品應(yīng)用:
☉ 面板貼膜
☉ 3D網(wǎng)版印刷
☉玻璃側(cè)角及磨邊設(shè)備
☉ Wafe對位設(shè)備
☉ P.C.D曝光設(shè)備
☉ 軟體裁切設(shè)備
☉ 半導(dǎo)體設(shè)備
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特殊規(guī)格對位平臺
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Z軸升降機(jī)構(gòu)
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WNGAU12系列
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WNGAU10系列
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WNGAU05系列
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WNGAS03系列
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WNGAS02系列
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WNGAS01系列
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相位臺:WN700UVW12X12X4
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