特性介紹

? 采用了劃時(shí)代性模組結(jié)構(gòu)的超薄型平臺(tái)

在基座、工作臺(tái)之間的四端平面裝上組合了MINI STAGE XYθ軸滑臺(tái)組和特殊交叉滾柱軸承的模組之獨(dú)特性，實(shí)現(xiàn)了超薄型結(jié)構(gòu)。

? 高剛性、高精度

對(duì)于構(gòu)成模組的MINI STAGE XYθ軸滑臺(tái)組的特殊交叉滾柱施加了預(yù)壓，達(dá)到高精度、高剛性的結(jié)構(gòu)。

? 超薄型、輕量化、中空結(jié)構(gòu)

採(cǎi)用XYθ模組化結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)了無(wú)中座、薄而輕的機(jī)構(gòu)，可作為光學(xué)式檢查裝置或?qū)y(cè)試時(shí)使用。

? 潤(rùn)滑系統(tǒng)

在各種運(yùn)動(dòng)軌道加入潤(rùn)滑系統(tǒng)，確保潤(rùn)滑脂補(bǔ)充，提高對(duì)位平臺(tái)使用的壽命及精度。

? 尺寸齊全 適用各種機(jī)型運(yùn)用

工作臺(tái)面尺寸口100mm~口1500mm，為了可以對(duì)應(yīng)更大的精度荷載，可藉由增加從動(dòng)模組之?dāng)?shù)量來(lái)達(dá)成。

產(chǎn)品應(yīng)用介紹

?  面板貼合機(jī)

?  面板貼膜機(jī)

?  網(wǎng)版及3D網(wǎng)版印刷

?  玻璃側(cè)角及磨邊設(shè)計(jì)

?  Wafe對(duì)位設(shè)備

?  P.C.D曝光設(shè)備

?  軟體裁切設(shè)備

?  半導(dǎo)體設(shè)備