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Z軸升降機(jī)構(gòu)
產(chǎn)品分類： UVW相位臺
產(chǎn)品名稱： Z軸升降機(jī)構(gòu)
產(chǎn)品名稱： Z軸升降機(jī)構(gòu)
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XXY精密對位平臺 – Z軸升降式
臺面尺寸 : 350x350、600x600 (mm)
基座尺寸 : 350x410、620x660 (mm)
★ 超薄型、輕量化平臺-采用Mini stage Xyθ模塊化結(jié)構(gòu),實(shí)現(xiàn)無中座的薄且輕的機(jī)構(gòu)
★ 透過特殊交叉滾柱軸承施加預(yù)壓,達(dá)高剛性、高精度表現(xiàn)
★ 中空結(jié)構(gòu)設(shè)計,可作為光學(xué)式檢查裝置或?qū)y試器使用
★ 在各運(yùn)動軌道加入潤滑系統(tǒng)，提高對位平臺使用的壽命及精度
★ 材料皆經(jīng)超深冷處理,有效預(yù)防變型,大幅提升使用壽命,質(zhì)量及效能
★ 實(shí)行三次元全檢,保證滑臺出廠精度與質(zhì)量
型號 | 工作臺面尺寸 (mm) | 基座尺寸 (mm) | 行程 (mm) | 水平負(fù)載能力 (kgf) |
WNAZS350 | 350x350 | 350x410 | ±15 | Fv 200 ; Fs 200 |
WNAZS600 | 600x600 | 620x660 | 5 | Fv 200 ; Fs 400 |
